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潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的...

DKG ONE HF 光聲光譜激光氣體分析儀基于結(jié)合超靈敏懸臂梁增強光聲檢測技術(shù)和可調(diào)諧二極管激光源在氟化氫的NIR基本光譜吸收線上工作。這種組合提供了足夠的靈敏度來可靠地測量氫氣的環(huán)境背景中氟化物水...

增強離子遷移譜氣體分析儀可提供達100 FWHM的分辨率，足以分辨異構(gòu)體成分。SIMS的一大優(yōu)勢是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣，這一優(yōu)勢就把使用成本減低為零。 SIMS儀器的離子遷移譜技術(shù)通過電暈放電（...

DKG ONE-PFCs分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量?級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于PFCs的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了超高水平的穩(wěn)定性，重新校準的周期長達幾個?...

NOVEC氣體分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量?級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于NOVEC的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了超高水平的穩(wěn)定性，重新校準的周期長達幾個?甚?幾年...

DKG ONE-EtO分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量?級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于EtO的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了超高水平的穩(wěn)定性，重新校準的周期長達幾個?甚?...

DKG ONE-CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量?級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了?夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF4...

CF4氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測器和光源，廣泛應用于科研、工業(yè)和其他領域；其中探測器是超高靈敏度的增強型懸臂梁光學麥克風技術(shù)。CF4氣體廣泛應用于半導體制造、環(huán)境監(jiān)測及工業(yè)安全等領域。光...

PFCs氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測器和光源，廣泛應用于科研、工業(yè)和其他領域；其中探測器是超高靈敏度的增強型懸臂梁光學麥克風技術(shù)。PFCs作為一類強效溫室氣體，廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)，光聲光譜...

EtO氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測器和光源，廣泛應用于科研、工業(yè)和其他領域；其中探測器是超高靈敏度的增強型懸臂梁光學麥克風技術(shù)。EtO廣泛應用于醫(yī)療滅菌和工業(yè)化學處理，光聲光譜技術(shù)利用氣體...